Introduction to Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)

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Introduction to Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)

Dieser Kurs ist Teil von Spezialisierung „Introduction to Semiconductor and MEMS Fabrication“

Dozenten: Rama Prasad

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3 Module

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Stufe Mittel

Empfohlene Erfahrung

9 Stunden zu vervollständigen

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Kompetenzen, die Sie erwerben

Kategorie: Semiconductors
Kategorie: Medical Equipment and Technology
Kategorie: Hardware Architecture
Kategorie: Electronics
Kategorie: Design Specifications
Kategorie: Medical Devices
Kategorie: Materials science
Kategorie: Mechanical Design
Kategorie: Manufacturing Processes
Kategorie: Mechanical Engineering
Kategorie: Biomedical Engineering
Kategorie: Microarchitecture
Kategorie: Mathematical Modeling

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8 Aufgaben

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Dieser Kurs ist Teil der Spezialisierung Spezialisierung „Introduction to Semiconductor and MEMS Fabrication“

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In diesem Kurs gibt es 3 Module

MEMS devices leverage the same equipment and processes used for semiconductor devices to create microscale sensors and actuators that drive innovation across a wide range of technologies in modern society. Through this course, learners will be able to demonstrate how these processes are specifically used for MEMS fabrication and highlight some differences from semiconductor fabrication. Key applications in consumer, industrial, aerospace, and medical applications are highlighted and described in more detail.

In this module, we dive into some of the specifics involved in the creation of MEMS devices. We begin by briefly covering some of the physical phenomena used in MEMS devices and then discuss the differences between bulk and surface micromachining fabrication processes. Lastly, we provide more detail around requirements and techniques used in the packaging for MEMS.

Das ist alles enthalten

3 Videos2 Lektüren3 Aufgaben

3 VideosInsgesamt 58 Minuten

Fabrication Processes Specific to MEMS - Video 118 Minuten
Fabrication Processes Specific to MEMS - Video 232 Minuten
Fabrication Processes Specific to MEMS - Video 38 Minuten

2 LektürenInsgesamt 60 Minuten

Fabrication Processes Specific to MEMS - Module Overview30 Minuten
Fabrication Processes Specific to MEMS - Additional Resources30 Minuten

3 AufgabenInsgesamt 45 Minuten

Fabrication Processes Specific to MEMS - Quiz 115 Minuten
Fabrication Processes Specific to MEMS - Quiz 215 Minuten
Fabrication Processes Specific to MEMS - Quiz 315 Minuten

This Module covers the field of Micro Electromechanical Systems from the MEMS device design and system specification point of view. The most widely deployed MEMS inertial sensors and MEMS pressure sensors device model, design and fabrication are introduced. Ongoing development of transducer architecture for various applications is presented.

Das ist alles enthalten

2 Videos4 Lektüren2 Aufgaben8 Plug-ins

2 VideosInsgesamt 86 Minuten

MEMS in Consumer, Aerospace, Industrial - Lecture 142 Minuten
MEMS in Consumer, Aerospace, Industrial - Lecture 2 45 Minuten

4 LektürenInsgesamt 64 Minuten

MEMS in consumer, aerospace, industrial - Module Overview30 Minuten
MEMS in Consumer, Aerospace, Industrial - Lecture 12 Minuten
MEMS in Consumer, Aerospace, Industrial - Lecture 22 Minuten
MEMS in Consumer, Aerospace, Industrial - Additional Resources30 Minuten

2 AufgabenInsgesamt 40 Minuten

MEMS in Consumer, Aerospace, Industrial - Quiz 120 Minuten
MEMS in Consumer, Aerospace, Industrial - Quiz 220 Minuten

8 Plug-insInsgesamt 37 Minuten

MEMS in Consumer, Aerospace, Industrial - product 12 Minuten
MEMS in Consumer, Aerospace, Industrial - product 25 Minuten
MEMS in Consumer, Aerospace, Industrial - product 35 Minuten
MEMS in Consumer, Aerospace, Industrial - product 45 Minuten
MEMS in Consumer, Aerospace, Industrial - product 55 Minuten
MEMS in Consumer, Aerospace, Industrial - product 65 Minuten
MEMS in Consumer, Aerospace, Industrial - product 75 Minuten
MEMS in Consumer, Aerospace, Industrial - product 85 Minuten

In this module, we discuss the application of MEMS fabrication techniques and MEMS devices to the field of medical applications. We highlight key design considerations and device testing that are specific for devices used in the medical field. Some commercial examples of MEMS medical devices are reviewed and two technologies with unique medical applications, microfluidics and microelectrodes, are discussed in more detail.

Das ist alles enthalten

3 Videos2 Lektüren3 Aufgaben

3 VideosInsgesamt 50 Minuten

MEMS for Medical Applications - Video 119 Minuten
MEMS for Medical Applications - Video 29 Minuten
MEMS for Medical Applications - Video 322 Minuten

2 LektürenInsgesamt 60 Minuten

MEMS for Medical Applications - Module Overview30 Minuten
MEMS for Medical Applications - Additional Resources30 Minuten

3 AufgabenInsgesamt 45 Minuten

MEMS for Medical Applications - Quiz 115 Minuten
MEMS for Medical Applications - Quiz 215 Minuten
MEMS for Medical Applications - Quiz 315 Minuten

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Dozenten

Rama Prasad

University of Minnesota

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