École Polytechnique Fédérale de Lausanne

Micro and Nanofabrication (MEMS)

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Micro and Nanofabrication (MEMS)

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Was Sie lernen werden

  • How to select the correct fabrication process for a specific micro-device or microsystem

  • Establish the workflow for the cleanroom processes

  • Identify how physical and chemical phenomena govern miniaturized systems for various applications

  • Resource planning for a given microsystem fabrication

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Kürzlich aktualisiert!

Juli 2026

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In diesem Kurs gibt es 8 Module

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Dozent

Juergen Brugger
École Polytechnique Fédérale de Lausanne
1 Kurs4 Lernende

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