Nach diesem Modul werden Sie in der Lage sein, die Probenvorbereitung und die in der Rasterelektronenmikroskopie verwendeten Bildgebungsverfahren zu erklären. Sie werden auch in der Lage sein, die Vorteile der Umwelt-Rasterelektronenmikroskopie zu erklären. Außerdem erfahren Sie, wie die energiedispersive Röntgenspektroskopie mit der Rasterelektronenmikroskopie kombiniert werden kann, um elementare Informationen über Proben zu erhalten.

In diesem Modul werden wir uns mit der Transmissions-Elektronenmikroskopie und der Kryo-Transmissions-Elektronenmikroskopie beschäftigen. Sie werden lernen, die grundlegende Funktion der Geräte zu beschreiben und erfahren, wie Proben mit diesen Techniken vorbereitet und abgebildet werden.

In diesem Modul werden wir Demonstrationen der Mikro-Computertomographie, der Röntgen-Photoelektronenspektroskopie und der optischen Spektroskopie sehen. Sie lernen die grundlegende Funktion der Geräte kennen und erfahren, wie die Proben vorbereitet und gemessen werden.

In diesem Modul werden wir herausfinden, wie und warum eine Vakuumumgebung in der Nanofabrikation erforderlich ist, die Funktionsweise von drei Arten von Vakuumpumpen vergleichen und uns die Vakuumabscheidung von dünnen Schichten mit drei verschiedenen Methoden ansehen: Sputterverdampfung, E-Beam-Verdampfung und thermische Verdampfung.

Wir werden uns einige Techniken zur Herstellung von Dingen mit Nanotechnologie unter Verwendung von Dünnschichttechniken ansehen. In diesem Modul werden Sie lernen, die Atomlagenabscheidung, die chemische Gasphasenabscheidung und die plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung zu beschreiben und zu vergleichen.

In diesem Modul werden wir 5 verschiedene Methoden untersuchen, die in der Nanotechnologie zur Strukturierung verwendet werden. Sie werden in der Lage sein, die grundlegenden Prozesse der Photolithographie, der E-Beam-Lithographie, der Ionenstrahllithographie, des Heißprägens und der Selbstmontage zu erklären.

In diesem Modul werden Sie lernen, Nass- und Trockenätzverfahren zu beschreiben und zu vergleichen. Diese Verfahren werden verwendet, um bei der Nanofabrikation selektiv Material zu entfernen.